درک تجهیزات خلاء اصلی: راهنمای کاربردهای صنعتی مدرن

• انواع: پمپ های روتاری ، پمپ های پیچ.
• اصل: فشرده سازی مکانیکی گاز از طریق اجزای چرخان.

پمپ های روتاریبرای تله و فشرده سازی گاز از یک روتور نصب شده خارج از مرکز با ون های قابل جمع شدن استفاده کنید.

پمپ های پیچبرای انتقال گاز با حداقل لرزش به روتورهای مارپیچ دوگانه اعتماد کنید.

• عمل:

دامنه فشار: خلاء کم (10 × 10 ⁻³ - 760 TORR).

ویژگی های کلیدی: سرعت پمپاژ سریع ، مقرون به صرفه بودن و مناسب بودن برای مراحل خلاء خشن.

• برنامه: ایجاد قبل از تخلیه (پمپ های پیشانی) ، خشک کن های یخ زده و تجهیزات آزمایشگاهی.

• اصل: تیغه های چرخشی با سرعت بالا (20 ، {2}}}-90 ، {4}} rpm) حرکت به مولکول های گاز را نشان می دهد و آنها را به سمت اگزوز هدایت می کند.
• عمل:

دامنه فشار: خلاء بالا (10 × 10 ⁻⁹ - 1 × 10⁻³ Torr).

ویژگی های کلیدی: عملیات بدون روغن ، برای فرآیندهای حساس به آلودگی بسیار مهم است.

• انواع:

پمپ های مولکولی توربو: تیغه های توربین چند مرحله ای برای تخلیه کارآمد گاز.

پمپ های مولکولی ترکیبی: مراحل توربو و کشیدن را برای پوشش فشار گسترده تر ترکیب کنید.

• برنامه: لیتوگرافی نیمه هادی ، جوش پرتو الکترونی و رسوب فیلم نازک.

• اصل: مولکول های گازی با استفاده از هلیوم مایع یا کرایووکلرها ، روی سطوح خنک شده تا 10-20 K به دام می افتند.
• عمل:

دامنه فشار: خلاء فوق العاده بلند (<1×10⁻¹⁰ Torr).

ویژگی های کلیدی: بدون قطعات متحرک ، عملکرد فوق العاده تمیز ، اما برای آزاد کردن گازهای به دام افتاده نیاز به بازسازی دوره ای دارد.

• برنامه: شتاب دهنده های ذرات ، اتاق های شبیه سازی فضا و ابزارهای تجزیه و تحلیل سطح (به عنوان مثال ، طیف سنجی فوتوالکترون اشعه ایکس).

این ابزارها فشار را در سطح خلاء مختلف اندازه گیری می کنند:

• دستگیره های پیرانی: تغییرات هدایت حرارتی را تشخیص دهید (10 - 760 TORR) ، ایده آل برای نظارت بر خلاء خشن.
• مانومتر خازن: فشار را از طریق انحراف دیافراگم (10 ⁻⁴ - 1000 TORR) اندازه گیری کنید و دقت بالایی را ارائه می دهد.
• اندازه گیری یونیزاسیون: از بمباران الکترونی به مولکول های گاز یونیزاسیون (10⁻-10⁻³ TORR) استفاده کنید ، برای سیستم های با فشار بالا ضروری است.

• اصل: تشخیص گاز ردیاب هلیوم از طریق میکرو نشت (حساسیت به 10⁻⁻² TORR · L\/S).
• برنامه:
  فاب های نیمه هادی: اطمینان از اتاق های پردازش ویفر بدون نشت.
  هوافضا: اعتبار سنجی یکپارچگی سیستم سوخت در فضاپیما.
  HVAC: آزمایش مهر و موم مدار مبرد.